MEMS甲烷氣體傳感器

產(chǎn)品介紹：

MEMS甲烷氣體傳感器是主要用于檢測環(huán)境中可燃氣體氣體濃度的MEMS氣體傳感器。MEMS甲烷氣體傳感器采用固體金屬氧化物半導體材料作為氣敏元件，SI基襯底.上的微熱板是采用MEMS工藝制作的。該甲烷氣體傳感器可把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體。適用于除了惡劣環(huán)境外各種場合的甲烷氣體濃度檢測。

產(chǎn)品參數(shù)：

檢測氣體：甲烷氣體

可燃氣體測量范圍：0-10000ppm

回路電壓Vc：≤24V DC

加熱電壓VH：2.8V士0.1V AVorDC

負載電阻RL：可調(diào)

加熱電阻RH：80?土20?(室溫)

加熱功耗PH：≤80mW

敏感體電阻Rs：1K?~30K?

靈敏度S：RO/RS≥2

濃度斜率a：≤0.9

溫度：20°C士2°C

濕度：55%RH土5%RH

標準測試電路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V士0.1V