氫氣MEMS氣體傳感器

氫氣MEMS氣體傳感器是為了降低使用成本、方便家用而研發的氫氣傳感器。氫氣MEMS氣體傳感器采用微型化設計，諧振頻率高，功耗低，響應時間短，提高了傳感器本身的靈敏度。利用MEMS工藝制作微熱板，并所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作。適用于家用等檢測氫氣氣體濃度的場合。